喜開(kāi)理產(chǎn)品介紹：CKD小型流量傳感器

產(chǎn)品型號(hào);FSM2-PAR102-A153BT

產(chǎn)品介紹：CKD小型流量感測(cè)器

產(chǎn)品型號(hào);FSM2-PAR102-A153BT

產(chǎn)品資料

滿(mǎn)足客戶(hù)需求

充實(shí)產(chǎn)品陣容

吸收FSM系列的并實(shí)現(xiàn)了更大的進(jìn)步。

繼承了優(yōu)異的應(yīng)答性，量程擴(kuò)大到了1000L/min。

采用雙畫(huà)面和雙色顯示，并搭載自動(dòng)參考功能，操作便利性大幅度提高。

此外，實(shí)現(xiàn)了雙向測(cè)量，注入了新價(jià)值。

流量量程增大

保持大流量，結(jié)構(gòu)小型化

實(shí)現(xiàn)雙向流體測(cè)量

精度提高 不超過(guò)±3%FS

在以往的流量量程（0.5、1、5、10、20、100 L/min）之上增加

了2、200、500、1000 L/min四個(gè)類(lèi)型。

雙畫(huà)面顯示和雙色顯示功能

流量欄表示功能

自動(dòng)參考功能

高速應(yīng)答 不超過(guò)50msec

利用表示一體型設(shè)計(jì)，通過(guò)設(shè)置主畫(huà)面和輔助畫(huà)面，提高了操作

的靈活性。

而且，利用雙色顯示，發(fā)生異常時(shí)一看便知。

在表示分離型中，通過(guò)流量欄表示，可以一目了然地掌握目標(biāo)流

量。

通過(guò)按鈕操作或者外部輸入，可以自動(dòng)獲取開(kāi)關(guān)輸出的設(shè)定值。

*避免了繁瑣的設(shè)定過(guò)程。

通過(guò)采用了硅微細(xì)加工技術(shù)白金感測(cè)器小片，實(shí)現(xiàn)了高速應(yīng)答。

有助于縮短間隔時(shí)間。

流量量程為500、1000 L/min這兩個(gè)類(lèi)型，是以往體積的30%。

實(shí)現(xiàn)了屈一指的小型化。

有助于設(shè)備的小型化、輕量化。

表示一體型、雙向型可以任意設(shè)置流向進(jìn)行測(cè)量。

管線(xiàn)安裝的自由程度得到了很大提高，同時(shí)還可以用來(lái)探測(cè)逆流。

精度達(dá)到了±3%FS，實(shí)現(xiàn)了更為準(zhǔn)確的流量測(cè)量。

FSM系列

FSM2系列

是以往體積的

30%

（1000 L/min類(lèi)型）

詳情請(qǐng)參閱P29

正方向 雙向 反方向

詳情請(qǐng)參閱P25

詳情請(qǐng)參閱P25

詳情請(qǐng)參閱P28

流量欄表示

流量單位

主畫(huà)面（顯示瞬時(shí)流量）

<雙色顯示>

輔助畫(huà)面（流向等）

機(jī)型種類(lèi) 尺寸

超小型、輕量 高速應(yīng)答 開(kāi)關(guān)輸出 模擬輸出 大流量型

反方向

雙向

正方向

分離型 一體型

主體材質(zhì)

保持感測(cè)器，實(shí)現(xiàn)防范故障于未然。

頁(yè)碼

目錄No.

頁(yè)碼

應(yīng)答速度 顯示器 材質(zhì) 輸出方式 流向探測(cè) 流量量程

豐富的FSM系列

備有小型流量感測(cè)器超小型管道式過(guò)濾器

技術(shù)資料

用途示例、系列體系見(jiàn)下頁(yè)

滿(mǎn)足客戶(hù)需求

充實(shí)產(chǎn)品陣容

滿(mǎn)足客戶(hù)需求

充實(shí)產(chǎn)品陣容

吸收FSM系列的并實(shí)現(xiàn)了更大的進(jìn)步。

繼承了優(yōu)異的應(yīng)答性，量程擴(kuò)大到了1000L/min。

采用雙畫(huà)面和雙色顯示，并搭載自動(dòng)參考功能，操作便利性大幅度提高。

此外，實(shí)現(xiàn)了雙向測(cè)量，注入了新價(jià)值。

流量量程增大

保持大流量，結(jié)構(gòu)小型化

實(shí)現(xiàn)雙向流體測(cè)量

精度提高 不超過(guò)±3%FS

在以往的流量量程（0.5、1、5、10、20、100 L/min）之上增加

了2、200、500、1000 L/min四個(gè)類(lèi)型。

雙畫(huà)面顯示和雙色顯示功能

流量欄表示功能

自動(dòng)參考功能

高速應(yīng)答 不超過(guò)50msec

利用表示一體型設(shè)計(jì)，通過(guò)設(shè)置主畫(huà)面和輔助畫(huà)面，提高了操作

的靈活性。

而且，利用雙色顯示，發(fā)生異常時(shí)一看便知。

在表示分離型中，通過(guò)流量欄表示，可以一目了然地掌握目標(biāo)流

量。

通過(guò)按鈕操作或者外部輸入，可以自動(dòng)獲取開(kāi)關(guān)輸出的設(shè)定值。

*避免了繁瑣的設(shè)定過(guò)程。

通過(guò)采用了硅微細(xì)加工技術(shù)白金感測(cè)器小片，實(shí)現(xiàn)了高速應(yīng)答。

有助于縮短間隔時(shí)間。

流量量程為500、1000 L/min這兩個(gè)類(lèi)型，是以往體積的30%。

實(shí)現(xiàn)了屈一指的小型化。

有助于設(shè)備的小型化、輕量化。

表示一體型、雙向型可以任意設(shè)置流向進(jìn)行測(cè)量。

管線(xiàn)安裝的自由程度得到了很大提高，同時(shí)還可以用來(lái)探測(cè)逆流。

精度達(dá)到了±3%FS，實(shí)現(xiàn)了更為準(zhǔn)確的流量測(cè)量。

FSM系列

FSM2系列

是以往體積的

30%

（1000 L/min類(lèi)型）

詳情請(qǐng)參閱P29

正方向 雙向 反方向

流量單位

主畫(huà)面（顯示瞬時(shí)流量）

<雙色顯示>

輔助畫(huà)面（流向等）

機(jī)型種類(lèi) 尺寸

超小型、輕量 高速應(yīng)答 開(kāi)關(guān)輸出 模擬輸出 大流量型

反方向

雙向

正方向

分離型 一體型

主體材質(zhì)

保持感測(cè)器，實(shí)現(xiàn)防范故障于未然。

頁(yè)碼

目錄No.

頁(yè)碼

應(yīng)答速度 顯示器 材質(zhì) 輸出方式 流向探測(cè) 流量量程

豐富的FSM系列

備有小型流量感測(cè)器超小型管道式過(guò)濾器

技術(shù)資料

用途示例、系列體系見(jiàn)下頁(yè)

開(kāi)關(guān)輸出2點(diǎn) NPN/PNP

模擬輸出1點(diǎn)

模擬輸出1點(diǎn)

空氣、氮?dú)庥?氬、碳酸氣用

主體材質(zhì)

連接口徑

實(shí)際比例流量

表示一體型 表示分離型

流向

雙向或單向

（根據(jù)形式選擇，雙向型可以通過(guò)按鈕操作選擇流向）

雙向或單向

（根據(jù)形式選擇）

模擬輸出1點(diǎn)

1-5V或4-20mA（根據(jù)形式選擇）

開(kāi)關(guān)輸出2點(diǎn)

NPN或PNP輸出（根據(jù)形式選擇）

模擬輸出1點(diǎn)

1-5V或4-20mA（根據(jù)形式選擇）

輸出形式

樹(shù)脂主體

不銹鋼主體

單向 雙向 單向 雙向

表示一體型表示分離型

小型流量感測(cè)器用途示例 小型流量感測(cè)器系列體系

應(yīng)用于各種域中

小型流量感測(cè)器可以用在機(jī)械、汽車(chē)、計(jì)量?jī)x器、精密儀器等域和半導(dǎo)體、

生物等*域以及醫(yī)療、食品域等上，用途非常廣泛多樣。

適用流體

感測(cè)器的用途

各種泄露檢查

針孔檢查

離子化器的吹掃氣體確認(rèn)

焊接氣體的管理

吹掃氣體的流量管理

落座確認(rèn)

吸附確認(rèn)

可以直接測(cè)量泄露流

量。即便是微壓，由于

輸出與針孔成正比，

因此也可以用來(lái)判斷

有否故障、確認(rèn)狀態(tài)

情況。

可處理的流量量程大。

內(nèi)嵌速控器型（特別訂購(gòu)品）可

以輕松對(duì)流量進(jìn)行控制。

可處理的流量量程大。

①與壓力感測(cè)器不相上下的高速應(yīng)答（應(yīng)答由管線(xiàn)的內(nèi)容積、壓力等決定）

②由于是通過(guò)流量探測(cè)的，因此不存在因壓力的變化而引起的調(diào)節(jié)、誤檢情形。

③可以探測(cè)出噴嘴或過(guò)濾器的孔口堵塞。

④通過(guò)流量探測(cè)，可以有效管理傾斜吸附等吸附錯(cuò)誤。

利用壓力感測(cè)器時(shí)有時(shí)差壓過(guò)小而無(wú)法判別，此

時(shí)根據(jù)流量可以準(zhǔn)確地進(jìn)行判別。

激光激發(fā)器、半導(dǎo)體制造裝置的N2氣體管理

處置的流量量程大。

內(nèi)嵌速控器型（特別訂購(gòu)品）可以

輕松對(duì)流量進(jìn)行控制。

危險(xiǎn)

? 請(qǐng)勿用于易燃性流體。

關(guān)于使用流體

注意

使用不受溫度、壓力影響的流量測(cè)定本產(chǎn)品的

流量。單位為L(zhǎng)/min。該單位為將流量換算為

在20℃ 1氣壓(101kPa)的體積流量時(shí)的標(biāo)記單位。

?

警告

不能作為商用儀表使用。

不適用于計(jì)量法，因此請(qǐng)不要用于商業(yè)交易。請(qǐng)作

為工業(yè)用感測(cè)器使用。

除適用流體之外的流體由于不能其精度，因此

請(qǐng)不要使用。

壓縮機(jī)輸出的壓縮空氣內(nèi)含有污物(水、氧化油、異

物等)，因此請(qǐng)?jiān)诟袦y(cè)器的一次端(上端部)安裝過(guò)濾

器、空氣干燥器及油霧過(guò)濾器(細(xì)油微粒過(guò)濾器)后

使用。此外，感測(cè)器內(nèi)的網(wǎng)眼(金屬網(wǎng))用于調(diào)整配

管中的流量，并不是用于除去異物的過(guò)濾器，因此

請(qǐng)務(wù)必設(shè)置過(guò)濾器。

＜回路＞

壓力源 空氣干燥器 過(guò)濾器 調(diào)壓閥 油霧

過(guò)濾器

(細(xì)油微粒過(guò)濾器)

流量感測(cè)器

FSM系列

感測(cè)器的一次端使用閥時(shí)，請(qǐng)使用禁油規(guī)格的閥。

否則，可能因潤(rùn)滑油、油等飛濺造成感測(cè)器失靈或

破損。

使用碳酸氣等液化氣體時(shí)，請(qǐng)務(wù)必氣化后使用。因

為液化的氣體進(jìn)入本產(chǎn)品可能導(dǎo)致產(chǎn)品故障。

危險(xiǎn)

關(guān)于使用環(huán)境

防性環(huán)境

嚴(yán)禁在性氣體環(huán)境中使用。由于本產(chǎn)品沒(méi)有設(shè)

置防爆結(jié)構(gòu)，因此可能引起導(dǎo)致火災(zāi)。?

警告

腐蝕性環(huán)境

請(qǐng)不要在亞硫酸氣體等腐蝕性氣體環(huán)境中使用。

周?chē)鷾囟?、流體溫度

使用本產(chǎn)品的周?chē)鷾囟?、流體溫度為0～50℃范圍

內(nèi)。

此外，在由于周?chē)鷾囟?、流體溫度急劇變化產(chǎn)生結(jié)

露的地方，即使溫度范圍屬于規(guī)定值，也請(qǐng)不要使

用本產(chǎn)品。

zui高使用壓力和使用流量量程

超過(guò)zui高使用壓力或非使用流量量程使用本產(chǎn)品時(shí)

可能導(dǎo)致本產(chǎn)品故障，因此請(qǐng)?jiān)谝?guī)格范圍內(nèi)使用。

防滴漏環(huán)境

本產(chǎn)品的保護(hù)結(jié)構(gòu)相當(dāng)于IP40。請(qǐng)不要設(shè)置在存

在加壓、減壓的環(huán)境或出現(xiàn)水分、鹽分、塵埃及屑

末的場(chǎng)所。在溫度變化劇烈的場(chǎng)所或濕度高的環(huán)境

中，本產(chǎn)品可能因主體內(nèi)部產(chǎn)生結(jié)露產(chǎn)生故障，因

此不能在這樣的環(huán)境中使用

喜開(kāi)理產(chǎn)品介紹：CKD小型流量傳感器